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CIF實(shí)驗室型等離子清洗機CPC-F系列

    CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩定,操作簡(jiǎn)單方便,易維護。

    更新時(shí)間:2024-04-09 09:11:47
  1. 詳細信息
應用領(lǐng)域:
等離子清洗設備廣泛應用于材料學(xué)、微電子、半導體、線(xiàn) 路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫學(xué)等領(lǐng)域,主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。1710742555393.jpg

 產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監測工藝參數狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

◆  用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計  (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制準確。

◆  氣體返填吹掃,HEPA 高效過(guò)濾,防止二次污染。

◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

◆  采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學(xué),操作方 便,界面友好。

◆  上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

◆  內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門(mén)不易損壞。

◆  處理快速高效均勻,無(wú)污染,工藝重復性好。

◆  樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護,艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

技術(shù)參數

型號

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

0-600W

0-150W

匹配器

自動(dòng)匹配器

自動(dòng)匹配器

激發(fā)方式

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

氣體控制

雙浮子流量計

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

艙體材質(zhì)

不銹鋼或石英玻璃

不銹鋼或石英玻璃

艙體容積

3.8L-5L

3.8L-5L

有效處理尺寸

L200xW155mm

L200xW155mm

時(shí)間設定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

抽速 4m3/h

氣體穩定時(shí)間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa 以?xún)?/span>

100pa 以?xún)?/span>

  

AC220V 50/60Hz 766/316W

AC220V 50/60Hz  752/302W

產(chǎn)品尺寸

L440xW410xH455mm

L440xW410xH455mm

包裝尺寸

L560xW560xH685mm

L560xW560xH685mm

整機重量

32kg

32kg

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